Film de protecție cu pulverizare cu ultrasunete Acoperire specifică înainte de tăierea napolitanelor de siliciu

 

 

 

Acoperirea specifică a foliei de protecție prin pulverizare cu ultrasunete înainte de tăierea plachetei de siliciu s-a dovedit a fi o metodă fiabilă, repetabilă și eficientă pentru aplicarea diferitelor substanțe chimice pe siliciu înainte de tăiere, șlefuire și lustruire pentru a proteja napolitana și denivelările. Substanțele chimice obișnuite includ Z-coat, PMMA și alte substanțe chimice ușor de îndepărtat. Sistemul de duze FUNSONIC poate fi personalizat pentru a satisface cerințele specifice de acoperire ale clienților și provocările pentru peliculele de protecție înainte de tăierea plachetei de siliciu.
Acoperirea specifică a filmului de protecție prin pulverizare cu ultrasunete înainte de tăierea plachetei de siliciu poate fi aplicată la orice formă sau dimensiune prin controlul grosimii de la submicron la peste 100 de microni. Sistemul de acoperire este o alternativă fezabilă la alte tehnologii de acoperire, cum ar fi pulverizarea rotativă și tradițională.

 

 

 

 

 

Duzele cu ultrasunete au aplicații importante în prelucrarea fotolitografiei. Producătorii de semiconductori folosesc tehnologia de pulverizare cu ultrasunete pentru a pulveriza dezvoltatorul fotorezistent pe substraturi de cip de siliciu și arseniură de galiu, care este o substanță chimică care poate afișa circuite optice de imagistică pas cu pas. Procesul de pulverizare implică introducerea duzei deasupra cipului și apoi controlul duzei cu ultrasunete prin XYZ trei-axe și servomotor pentru a distribui uniform stratul de acoperire. Deoarece pulverizarea duzei cu ultrasunete este blândă și continuă, poate îmbunătăți activitatea chimică, poate îmbunătăți eficiența dezvoltării și poate reduce recuperarea și risipa de material. Datele arată că tehnologia de pulverizare cu ultrasunete poate economisi până la 70% din materiale și poate îmbunătăți controlul dimensiunilor critice.
În comparație cu acoperirea prin centrifugare obișnuită, câștigul duzelor cu ultrasunete este că pot distribui substanțele mai uniform și pot minimiza dependența distribuției lichidului de tensiunea podelei. Acoperirea prin centrifugare tradițională presupune depunerea de substanțe sub formă de bălți sau fluxuri pe un element al unui cip și apoi dispersarea lor pe podea prin forța centrifugă. Acest mod necesită o manipulare specifică a temperaturii și a încărcăturii de evaporare a solventului pentru a asigura integritatea și uniformitatea acoperirii. Duzele cu ultrasunete, pe de altă parte, atomizează țesătura pe toată podeaua cipului pentru a structura o peliculă subțire non--stop. În acest fel, nu este nevoie să luați în considerare evaporarea solventului și forțele de suprafață și nu va exista pulverizare sau depunere pe spate.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Tag-uri populare: Acoperire specifică a foliei de protecție prin pulverizare cu ultrasunete înainte de tăierea napolitanelor de siliciu, China acoperire specifică a filmului de protecție prin pulverizare cu ultrasunete înainte de tăierea napolitanelor de siliciu producători, furnizori, fabrică