Tehnologie cu pulverizare cu ultrasunete pentru depunerea de vapori în vid

Sistemul de pulverizare cu atomizare cu ultrasunete este utilizat pentru integrarea într -o cameră de vid. Prin experimente, s -a dovedit că proiectarea unică a sistemului de pulverizare cu atomizare cu ultrasunete poate fi integrată într -o platformă sigilată în vid, potrivită pentru aplicații precum depunerea de vapori polimer (PVD) și depunerea de vapori chimici metalici (MOCVD). Atomizarea caracteristică cu viteză mică generată de sistemul de pulverizare cu atomizare cu ultrasunete poate produce un nor de vapori cu distribuție strânsă a picăturilor și dimensiunea picăturii controlate de frecvență. Datorită faptului că duzele atomizante cu ultrasunete funcționează prin transformarea undelor sonore de înaltă frecvență în vibrații mecanice, lichidul în contact cu suprafața duzei este atomizat fără a adăuga aer sau gaz, astfel încât integritatea camerei de vid nu este slăbită în timpul procesului de pulverizare.

Tehnologia generatorului cu ultrasunete integrată în sistemul de pulverizare cu atomizare cu ultrasunete oferă energia electrică necesară pentru atomizare și este echipată cu o funcție avansată de echilibrare a sarcinii, care se poate adapta automat pentru a se adapta la diferite condiții de vid, menținând astfel cele mai stabile caracteristici de pulverizare în timpul procesului de depunere a vidului.

Sistemul de pulverizare cu atomizare cu ultrasunete este potrivit pentru medii de vid la temperatură ridicată și are funcție de monitorizare a capacității de răcire și a temperaturii pentru a asigura o protecție termică adecvată.

Avantajele cererii camerei de vid:

• Dispozitive electronice concepute pentru echilibrarea sarcinii
• Protecție și monitorizare la temperaturi ridicate
• Condiție unică de vid Proiectare de restricție a fluxului de lichid
• Atomizarea este generată în absența aerului/gazului, menținând integritatea vidului