Echipamente de piroliză cu pulverizare cu ultrasunete și sistem de acoperire TCO

Oxidul de staniu de inniu subțire uniform (ITO), oxidul de zinc dopat de aluminiu (AZO), oxidul de zinc (ZnO) și straturile de oxid dopat cu fluor sunt produse de obicei prin tehnologie de piroliză cu pulverizare cu ultrasunete. Acest proces unic necesită echipamente de acoperire specializate pentru a crea grosimea și forma de acoperire necesare și pentru a pulveriza soluții corozive în medii la temperaturi înalte.

În timpul pirolizei cu pulverizare cu ultrasunete la temperaturi ridicate, soluția precursoare (cum ar fi oxidul de zinc din aluminiu) este pulverizată pe substrat încălzit până la aproximativ 300-500 grad. Solventul se evaporă în timpul transportului, iar o peliculă de cristal ZnO crește pe suprafața substratului, de obicei calciu de sodiu sau alt sticlă. Temperatura substratului determină de obicei caracteristicile morfologice ale filmului.

Depunerea umedă cu ultrasunete oferă producătorilor o alternativă rentabilă la depunerea în vid și sputtering, cu o eficiență mai mare de transfer. Mărimea picăturilor generată de duza atomizantă cu ultrasunete este extrem de uniformă, ceea ce poate atinge dimensiunea optimă a picăturilor pentru reacția de piroliză și toate picăturile vor reacționa simultan în același mod în timpul procesului de depunere. Fie că este vorba de cercetare și dezvoltare sau producție în masă, acest lucru va aduce procese eficiente de producție TCO.

Utilizarea duzei cu ultrasunete funsonic depășește provocarea procesului de a pulveriza acizi extrem de corozivi. Duza este realizată din materiale structurale rezistente la coroziune și are proprietățile fără blocaj, repetabilitate și viață lungă. Poate chiar pulveriza acid clorhidric sau acid hidrofluoric extrem de coroziv.

Avantajele sistemului de piroliză cu pulverizare cu ultrasunete pentru acoperirea TCO:

1. Comparativ cu procesul CVD (depunerea de vapori chimici), piroliza cu pulverizare cu ultrasunete este simplă, flexibilă și rentabilă.
2. Experiență dovedită de acoperire TCO.
În comparație cu alte metode de pulverizare, duzele cu ultrasunete pot depune straturi mai uniforme.
4. Parametrii de acoperire ușor de ajustat și repetabil.
5. Tehnologia cu duze cu ultrasunete complet integrată integrată și livrarea lichidului, oferind o soluție completă de acoperire.
Procesele alternative de piroliză pulverizată la temperaturi scăzute (250 de grade și mai jos) sunt în curs de dezvoltare constant și au fost efectuate mai multe cercetări și dezvoltare pe substanțe chimice care nu au nevoie de substraturi țintă la temperatură ridicată.